作者:admin   發(fā)布時(shí)間:2019/3/19 14:09:48   瀏覽次數(shù):2471

檢測(cè)晶片的凹口位置及偏心位置

配備均勻區(qū)域光束的側(cè)視型光纖傳感器。

?能利用晶片的凹口及偏心造成的遮光量變化檢測(cè)出凹口與偏心的位置。 在11mm寬的檢測(cè)區(qū)域內(nèi)，晶片產(chǎn)生的遮光量成正比。 檢測(cè)區(qū)域內(nèi)通過特殊的光學(xué)部件形成均勻的區(qū)域光束。

應(yīng)用要點(diǎn)

?以往，由于區(qū)域傳感器的光束不夠均勻，因此無(wú)法正確檢測(cè)出晶片的凹口及偏心。

優(yōu)勢(shì)/效果

?只要均勻的線性光束使用雙輸出式光纖放大器，就能同時(shí)檢測(cè)晶片的凹口及偏心。 【使用型號(hào)】 光纖單元：E32-T16J 數(shù)字光纖傳感器：E3X-DA-S